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    等離子清洗機
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    等離子體清洗在封裝生產中的應用

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    訪問量 : 1031
    編輯時間 : 2020-06-08
    信息標簽 : 在線等離子清洗機

    等離子體清洗在微電子封裝領域有著廣泛的應用前景,等離子體清洗技術的成功應用依賴于工藝參數的優化,包括過程壓力、等離子激發頻率和功率、時間和工藝氣體類型、反應腔室和電極的配置以及待清洗工件放置位置等。半導體后部生產工序中,由于指印、助焊劑、焊料、劃痕、沾污、微塵、樹脂殘跡、自熱氧化、有機物等,在器件和材料表面形成各種沾污,這些沾污會明顯地影響封裝生產及產品質量,利用等離子體清洗技術,能夠很容易清除掉生產過程中形成的這些分子水平的污染,從而顯著地改善封裝的可制造性、可靠性及成品率。


    在線等離子清洗機
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