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    等離子清洗機
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    等離子清洗中的工藝氣體如何選擇

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    編輯時間 : 2020-07-24
    信息標簽 : 等離子清洗機

    等離子清洗機常見的加工工藝氣體有co2、氬氣、N2、空氣壓縮、二氧化碳、氡氣、四氟化碳等。它是將氣體弱電解質造成等離子體對產品工件開展表面解決,不論是開展清理還是表面活性,為達到最好的解決實際效果會采用不一樣的加工工藝氣體,那麼等離子清洗機的常見加工工藝氣體又該如何選擇呢?文中為大伙兒共享一下有關基本知識,供大伙兒參照。

    等離子清洗機

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    co2

    co2是等離子清洗常見的活性氣體,歸屬于物理學+有機化學的處理方法,弱電解質后造成的正離子體可以對表面開展物理學負電子,產生不光滑表面。另外高活性的氧離子可以與被斷鍵后的分子結構鏈產生化學變化產生活性官能團的親水性表面,做到表面活性的目地;被斷鍵后的有機化學空氣污染物的原素會與高活性的氧離子產生化學變化,產生CO、CO2、H2O等分子式擺脫表面,做到表面清理的目地。

    co2關鍵運用于纖維材料表面活性及有機化學空氣污染物除去,但不適感用以易空氣氧化的金屬材料表面。真空泵等離子情況下的氧等離子展現淺藍色,一部分充放電標準下相近乳白色。充放電自然環境光源較為亮,人眼觀查時很有可能會出現看不見真內腔身體有充放電的狀況。

    氬氣

    氬氣是一種可塑性氣體,弱電解質后造成的正離子體不容易與板材產生化學變化,在等離子清洗中關鍵被運用于板材表面的物理學清理及表面鈍化處理,較大的特性便是在表面清理中不容易導致高精密電子元器件的表面空氣氧化。正是如此,氬等離子清洗機在半導體材料、微電子技術、晶圓制造等制造行業被廣泛運用。

    氬氣在真空泵等離子清洗機中被弱電解質所造成的等離子體呈深紅色。在同樣的充放電自然環境下,氡氣和N2所造成的等離子體色調全是呈鮮紅色,但氬等離子體的色度會小于N2且高過氡氣,還是比較好區別的。

    1表面清理

    在圓晶、夾層玻璃等商品的表面Particle除去的加工工藝中,一般全是選用Ar等離子體對表面Particle開展負電子,以做到Particle被打撒、松脫(與板材表面擺脫)的實際效果,再相互配合超聲清洗或抽濾清理等加工工藝,將表面的Particle開展除去。尤其是在在半導體封裝加工工藝中,進行打線加工工藝后為避免 輸電線空氣氧化,全是選用氬等離子體或氬氫等離子體開展表面清理。

    2表面鈍化處理

    等離子清洗機的表面鈍化處理別稱表面離子注入,其目地是提高原材料表面的表面粗糙度,以提升粘合、包裝印刷、電焊焊接等加工工藝結合性,經氬等離子清洗機處理后的表面支撐力會顯著提高?;钚詺怏w所造成的等離子體還可以提升表面的表面粗糙度,但氬氣弱電解質后造成的顆粒相對性較重,氬正離子在靜電場的功效下的機械能會顯著高過活性氣體,因此 其鈍化處理實際效果會更為顯著,在無機化合物板材表面鈍化處理加工工藝中運用更為普遍。如夾層玻璃板材表面解決、金屬材料板材表面解決等。

    3活性氣體輔助

    在等離子清洗機的活性和清理加工工藝中,加工工藝氣體常常被混和應用,以做到更優的實際效果。由于氬氣的分子結構較為大,弱電解質后造成的顆粒較為后,在開展表面清理和活性時一般會相互配合活性氣體混和應用,最普遍的便是氬氣和co2的混和。co2為高活性氣體,可合理地對有機化學空氣污染物或有機化學板材表面開展有機化學溶解,但其顆粒相對性較小,斷鍵和負電子能力有限,如再加一定占比的氬氣,那麼所造成的等離子體對有機化學空氣污染物或有機化學板材表面的斷鍵和溶解工作能力便會更強,加速清理和活性的高效率。

    氬氣與氡氣混和運用在打線和打鍵加工工藝中,除提升焊層表面粗糙度外,還能夠合理除去焊層表面的有機化學空氣污染物,另外對表面的輕度空氣氧化開展復原,在半導體封裝和SMT等制造行業中被廣泛運用。

    氡氣

    氡氣與co2相近,歸屬于高活性氣體,能夠 對表面開展活性及清理。氡氣與co2的差別主要是反映后產生的活性官能團不一樣,另外氡氣具備氧化性,可用以金屬材料表面的外部經濟空氣氧化層除去且不容易對表面比較敏感有機化學層導致毀壞。因此 在微電子技術、半導體材料及pcb線路板生產制造制造行業應用范圍廣。

    因氡氣為危險因素氣體,未被弱電解質時與co2匯聚會產生自暴,因此 在等離子清洗機中一般是嚴禁二種氣體混和應用的。真空泵等離子情況下氫等離子呈鮮紅色,與氬等離子相近,要同樣的充放電自然環境下比氬等離子色調略深。

    N2

    N2弱電解質產生的等離子體可以與一部分分子式產生鍵合反映,因此 也是一種活性氣體,但相對性于co2和氡氣來講,其顆粒較為重,一般狀況下到等離子清洗機運用時會把此氣體定義在活性氣體co2、氡氣與可塑性氣體氬氣中間的一種氣體。在清理活性的另外可以做到一定負電子、離子注入的實際效果,另外可以避免 一部分金屬材料表面出現空氣氧化。N2與別的氣體組成產生的等離子體一般會被運用于一些材料的解決。真空泵等離子情況下氮等離子也是呈鮮紅色,在同樣的充放電自然環境下,氮等離子會比氬等離子和氫等離子更亮一些。


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