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    等離子清洗機
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    等離子體清洗的類別

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    編輯時間 : 2020-06-08
    信息標簽 : 在線等離子清洗機

    最基本的等離子體清洗設備由四大部分組成,即激發電源、真空泵、真空腔、反應氣體源。激發電源是提供氣體放電能量來源的電源,可以采用不同的頻率;真空泵的主要作用是抽走副產品,包括旋片式機械泵或增壓泵;真空腔內帶有放電電離的電極,將反應氣體變成等離子體;反應氣體源一般采用的氣體有氬、氧、氫、氮、四氯化碳等單一氣體,或兩種氣體混合使用。有許多因素支配著等離子體清洗的效用,這些因素包含化學性質的選擇、制程參數、功率、時間、零件放置及電極構造。不同的清洗用途所需要的設備結構、電極接法、反應氣體種類是不同的,其工藝原理也有很大區別,有的是物理反應,有的是化學反應,有的是物理化學兩種作用都產生,反應的有效性取決于等離子體氣源、等離子系統的組合及等離子工藝操作參數。表1示出半導體生產中等離子工藝的選擇及應用,等離子體腐蝕、等離子體去膠較早被半導體生產前部工序采用,利用常壓輝光冷等離子體所產生的活性物質對有機沾污和光刻膠進行清洗,是替代濕化學清洗方法的一種綠色手段。

    在線等離子清洗機
    在線等離子清洗機

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      等離子清洗機
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